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材料:硅(Si)

加工尺寸: φ30mm-360mm

加工厚度: 1.0mm-2.0mm

表面面型: 1λ@633nm

平行度: <1′

表面光洁度: 2-3级

直径误差: ±0.05mm

厚度公差: ±0.1mm

镀膜(无)

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