材料：硅（Si）
加工尺寸： φ30mm-360mm
加工厚度： 1.0mm-2.0mm
表面面型： 1λ@633nm
平行度： ＜1′
表面光洁度： 2-3级
直径误差： ±0.05mm
厚度公差： ±0.1mm
镀膜（无）
材料：硅（Si）
加工尺寸： φ30mm-360mm
加工厚度： 1.0mm-2.0mm
表面面型： 1λ@633nm
平行度： ＜1′
表面光洁度： 2-3级
直径误差： ±0.05mm
厚度公差： ±0.1mm
镀膜（无）
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