
材料:玻璃晶圆
加工尺寸: 4寸/6寸/8寸/12寸
加工厚度: 0.1-3.0mm
表面面型: BOW≤10um WARP≤20um
平行度: TTV≤2um
表面光洁度: S/D:20/10级
粗糙度: 0.5nm
直径误差: ±0.02mm
厚度公差: ±0.005mm
镀膜(无)
材料:玻璃晶圆
加工尺寸: 4寸/6寸/8寸/12寸
加工厚度: 0.1-3.0mm
表面面型: BOW≤10um WARP≤20um
平行度: TTV≤2um
表面光洁度: S/D:20/10级
粗糙度: 0.5nm
直径误差: ±0.02mm
厚度公差: ±0.005mm
镀膜(无)
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