材料：玻璃晶圆
加工尺寸： 4寸/6寸/8寸/12寸
加工厚度： 0.1-3.0mm
表面面型： BOW≤10um WARP≤20um
平行度： TTV≤2um
表面光洁度： S/D：20/10级
粗糙度： 0.5nm
直径误差： ±0.02mm
厚度公差： ±0.005mm
镀膜（无）
材料：玻璃晶圆
加工尺寸： 4寸/6寸/8寸/12寸
加工厚度： 0.1-3.0mm
表面面型： BOW≤10um WARP≤20um
平行度： TTV≤2um
表面光洁度： S/D：20/10级
粗糙度： 0.5nm
直径误差： ±0.02mm
厚度公差： ±0.005mm
镀膜（无）
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