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材料:玻璃晶圆

加工尺寸: 4寸/6寸/8寸/12寸

加工厚度: 0.1-3.0mm

表面面型: BOW≤10um WARP≤20um

平行度: TTV≤2um

表面光洁度: S/D:20/10级

粗糙度: 0.5nm

直径误差: ±0.02mm

厚度公差: ±0.005mm

镀膜(无)

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